旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)
愛銳精密科技(大連)有限公司提供日本出口高精度小型半導(dǎo)體制造實(shí)驗旋轉(zhuǎn)涂布機(jī),SPIN COATER
產(chǎn)品特點(diǎn):
■本產(chǎn)品采用獨(dú)特的旋轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)不但可以達(dá)到5,000rpm以上的高速旋轉(zhuǎn),且旋轉(zhuǎn)數(shù)精度全實(shí)現(xiàn)了
±1rpm的高精度?
■可任意設(shè)定旋轉(zhuǎn)數(shù)(0~5,000rpm)和到達(dá)旋轉(zhuǎn)數(shù)的時間(0.2sec~999.9sec),因此可輕易地控制膜厚。?
■可追加滴下裝置(MS-A150/MS-A200)
產(chǎn)品主要功能:
■采用AC伺服電動機(jī)?
●無刷式,不會造成無塵室污染。?
●減少電動機(jī)發(fā)熱,也減少因連續(xù)使用時的溫度上升造成對膜厚再現(xiàn)性的影響。?
●電力消費(fèi)低,減低環(huán)境的負(fù)擔(dān)。?
■擴(kuò)張程式功能?
●最多有100階段程式、可記憶10種模式,更容易使用。?
■所有機(jī)型皆標(biāo)準(zhǔn)配備數(shù)位式真空計?
■方形基板等可設(shè)定停止時位置,超方便?
■安全裝置機(jī)構(gòu)(真空壓及蓋子)?
●由于薄膜或晶圓容易破裂,而降低吸附壓力時,可以變更安全裝置機(jī)構(gòu)(真空)的稼動壓力。
產(chǎn)品型號及主要規(guī)格:
型號 |
MS-B100 | MS-B150 | MS-B200 | |
基板尺寸 | MAX4inch(75×75mm) | MAX6inch(100×100mm) | MAX8inch(150×150mm) | |
旋轉(zhuǎn)數(shù) | 50~7,500rpm | 50~7,000rpm | 50~5,000rpm | |
旋轉(zhuǎn)精度 | ±1rpm | ±1rpm | ±1rpm | |
蓋子 | 壓克力 | 壓克力 | PC | |
安全裝置 | 蓋子 | 選配 | 選配 | ○ |
真空 | ○ | ○ | ○ | |
滴下裝置 | 不可裝配 | 選配 | 選配 | |
使用真空源 | -0.08~0.1MPa | -0.08~0.1MPa | -0.08~0.1MPa | |
電源 | AC100~110V 50/60Hz 5A | AC100~110V 50/60Hz 5A | AC100~110V 50/60Hz 5A | |
外形尺寸(mm) | 260W×230H×330D | 360W×302H×435D | 503W×350H×580D | |
外觀 |
MS-B200 密閉型
產(chǎn)品特點(diǎn):
■可減低因旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的氣流不穩(wěn),均勻涂膜
■EB光刻劑涂布效果佳
■低沸點(diǎn)溶劑涂布效果佳
■可減低光刻劑的使用量
四角基板尺寸 |
MAX 4×4 inch或5 inch5 inch |
旋轉(zhuǎn)數(shù) | 50~3,000rpm |
旋轉(zhuǎn)精度 | ±1rpm |
安全裝置 (蓋子/真空) | 有 |
空氣 | 0.3MPa(上部氣缸用) |
滴下裝置 | 不可裝配 |
使用真空源 | 0.08~0.1MPa |
電源 | AC100~110V 50/60Hz 5A |
外形尺寸(mm) | 540W×460H×630D |
●試料需使用合適的載臺。有關(guān)載臺的問題,請與敝司聯(lián)絡(luò)。
KEYWORDS: 半導(dǎo)體旋轉(zhuǎn)涂布機(jī),實(shí)驗機(jī),MS-B100, MS-B150, MS-B200, MEMS用涂布機(jī)