愛銳精密科技（大連）有限公司提供日本出口高精度小型半導(dǎo)體制造實(shí)驗旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)，SPIN COATER

產(chǎn)品特點(diǎn)：

■本產(chǎn)品采用獨(dú)特的旋轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)不但可以達(dá)到5,000rpm以上的高速旋轉(zhuǎn)，且旋轉(zhuǎn)數(shù)精度全實(shí)現(xiàn)了 ±1rpm的高精度?
■可任意設(shè)定旋轉(zhuǎn)數(shù)(0~5,000rpm)和到達(dá)旋轉(zhuǎn)數(shù)的時間(0.2sec~999.9sec)，因此可輕易地控制膜厚。?
■可追加滴下裝置(MS-A150/MS-A200)

產(chǎn)品主要功能：

■采用AC伺服電動機(jī)?
●無刷式，不會造成無塵室污染。?
●減少電動機(jī)發(fā)熱，也減少因連續(xù)使用時的溫度上升造成對膜厚再現(xiàn)性的影響。?
●電力消費(fèi)低，減低環(huán)境的負(fù)擔(dān)。?
■擴(kuò)張程式功能?
●最多有100階段程式、可記憶10種模式，更容易使用。?
■所有機(jī)型皆標(biāo)準(zhǔn)配備數(shù)位式真空計?
■方形基板等可設(shè)定停止時位置，超方便?
■安全裝置機(jī)構(gòu)(真空壓及蓋子)?
●由于薄膜或晶圓容易破裂，而降低吸附壓力時，可以變更安全裝置機(jī)構(gòu)（真空）的稼動壓力。

產(chǎn)品型號及主要規(guī)格：

型號		MS-B100	MS-B150	MS-B200
基板尺寸		MAX4inch(75×75mm)	MAX6inch(100×100mm)	MAX8inch(150×150mm)
旋轉(zhuǎn)數(shù)		50~7,500rpm	50~7,000rpm	50~5,000rpm
旋轉(zhuǎn)精度		±1rpm	±1rpm	±1rpm
蓋子		壓克力	壓克力	PC
安全裝置	蓋子	選配	選配	○
	真空	○	○	○
滴下裝置		不可裝配	選配	選配
使用真空源		-0.08~0.1MPa	-0.08~0.1MPa	-0.08~0.1MPa
電源		AC100~110V 50/60Hz 5A	AC100~110V 50/60Hz 5A	AC100~110V 50/60Hz 5A
外形尺寸(mm)		260W×230H×330D	360W×302H×435D	503W×350H×580D
外觀

MS-B200 密閉型

產(chǎn)品特點(diǎn)：

■可減低因旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的氣流不穩(wěn)，均勻涂膜
■EB光刻劑涂布效果佳
■低沸點(diǎn)溶劑涂布效果佳
■可減低光刻劑的使用量

●試料需使用合適的載臺。有關(guān)載臺的問題，請與敝司聯(lián)絡(luò)。

KEYWORDS： 半導(dǎo)體旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)，實(shí)驗機(jī)，MS-B100， MS-B150， MS-B200， MEMS用涂布機(jī)