超純水用帶電防止器（The Antistatic System for Ultrapure Water, MEGCON II） (日本NGK）

半導(dǎo)體產(chǎn)品制造中，利用超純水清洗時(shí)必不可少的設(shè)備。

概要

通常的精密清洗過(guò)程中，往往使用不含離子的超純水進(jìn)行清洗，這樣超純水很容易產(chǎn)生靜電，是以下的各種產(chǎn)品不良的主要原因。

?由靜電產(chǎn)生電路破壞（靜電擊穿）

?被清洗物表面付著電荷，由靜電吸引產(chǎn)生的微粒子粘著

超純水用靜電防止器（MEGAON II） 利用向超純水中深解二氧化炭氣體的方式，將電荷導(dǎo)出，達(dá)到除靜電，搞高產(chǎn)品的良品率的目的。

用途

?半導(dǎo)體劃片制程里的清洗

?高壓噴射清洗

?液晶面板清洗

?曝光用MASK清洗

分類

分為MEGACON與ALKARI MEGACON 兩種

MEGACON

特點(diǎn)

1，通過(guò)膜將二氧化碳溶解到超純水中，微粒子的混入危險(xiǎn)性小，信設(shè)備信賴性高；

2，采用自動(dòng)控制系統(tǒng)，流量變動(dòng)，目標(biāo)水阻值可以達(dá)到精確控制；

3，設(shè)備進(jìn)出超純水的壓力損失少；

4，歐洲電器標(biāo)準(zhǔn)CE

原理

通過(guò)膜裝二氧化碳?xì)怏w溶解到超純水中。

產(chǎn)品規(guī)格

通用系列
規(guī)格	框架式		PRCⅡ-1000AD	PRCⅡ-1200AD	PRCⅡ-2000AD	PRCⅡ-1220AD
	柜式	標(biāo)準(zhǔn)型	PRCⅡ-1000ACD	PRCⅡ-1200ACD	PRCⅡ-2000ACD	PRCⅡ-1220ACD
		S型 ※1	PRCⅡ-1000ACD-S	PRCⅡ-1200ACD-S	PRCⅡ-2000ACD-S	PRCⅡ-1220ACD-S
性能	最大流量		1000 L/h	1000 L/h	2000 L/h	2000 L/h
	系統(tǒng)控制 （最小水阻，流量約500L/h時(shí)的值）		0.2～2 MΩ?cm	0.1～0.5 MΩ?cm	0.2～2 MΩ?cm	0.15～1 MΩ?cm
氣體部分			氣體鋼瓶?jī)?nèi)藏式
超純水水管口徑	框架式		軟管?chē)娮欤↖D19φ編織軟管）
	柜式		Rc1/2		Rc3/4
尺寸	框架式		480W×355D×200H mm
	柜式	標(biāo)準(zhǔn)型	520W×400D×1150H mm
		S型 ※1	520W×400D×1415H mm
重量	框架式		15kg
	柜式	標(biāo)準(zhǔn)型	65kg
		S型 ※1	66kg
電源			AC100-240V（50/60Hz） （購(gòu)入時(shí)請(qǐng)指定、無(wú)指定情況下為AC100-120V）
液體接觸部分材質(zhì)			膜箱CELL（二氧化碳導(dǎo)入部件）→PP 配管→PVC、編織軟管
柜式涂裝色			Munsell 2.5Y8 / 2
標(biāo)裝附屬品 ※2	框架式		使用說(shuō)明書(shū)，檢查成績(jī)書(shū)
	柜式	標(biāo)準(zhǔn)型	使用說(shuō)明書(shū)，檢查成績(jī)書(shū) 電源100-120V時(shí)：電源線（AC100-120V用）+插頭 電源200-240V時(shí)：電源線（AC200-240V用） （上記以外的部件由用戶自行準(zhǔn)備）
		S型 ※1

 

CE標(biāo)識(shí)
規(guī)格	框架式		-		-
	柜式	E型	FRCⅡ-1000ACD-E		FRCⅡ-2000ACD-E
		ES型 ※1	FRCⅡ-1000ACD-ES		FRCⅡ-2000ACD-ES
性能	最大流量		1000 L/h		2000 L/h
	系統(tǒng)控制 （最小水阻，流量約500L/h時(shí)的值）		0.2～2 MΩ?cm		0.2～2 MΩ?cm
氣體部分			外部氣體供給式
超純水水管口徑	框架式		-
	柜式		Rc3/4
尺寸	ラック型		-
	柜式	E型	520W×470D×1150H mm （含防倒部分）
		ES型 ※1	520W×470D×1390H mm （含防倒部分）
重量	框架式		-
	柜式	E型	65kg
		ES型 ※1	66kg
電源			AC100-240V（50/60Hz）
液體接觸部分材質(zhì)			膜箱CELL（二氧化碳導(dǎo)入部件）→PP 配管→SUS304、PP、編織軟管
柜式涂裝色			Munsell 2.5Y8 / 2
標(biāo)準(zhǔn)附屬品 ※2	框架式		-
	柜式	E型	使用說(shuō)明書(shū)，檢查成績(jī)書(shū) 電源線（AC100-240V用）+歐洲標(biāo)準(zhǔn)插頭
		ES型 ※1	使用說(shuō)明書(shū)，檢查成績(jī)書(shū) 電源線（AC100-240V用）+歐洲標(biāo)準(zhǔn)插頭， 數(shù)據(jù)保存系統(tǒng)

 

※1:S型為2色燈報(bào)警器+可移動(dòng)用腳輪。ES型為2色燈報(bào)警器+數(shù)據(jù)輸出用端子及數(shù)據(jù)保存用系統(tǒng)。

※2:其它附屬品從下記名稱中選出。預(yù)備用膜箱CELL，做為備用，推薦購(gòu)買(mǎi)。

?校正證明書(shū)（水阻）

?預(yù)備用膜箱CELL

?水阻監(jiān)視傳感器SENCER

?數(shù)據(jù)保存系統(tǒng)

※3:超純水的常用壓力為0.35MPa，瞬時(shí)最大壓力保持在0.45MPa以下。

ALKARI MEGCON

特點(diǎn)

1.以改變被清洗物表面的電位的極性及電量的變化，來(lái)防止微粒子的靜電付著；

2.采用自動(dòng)控制系統(tǒng)，流量變動(dòng)，目標(biāo)水阻值可以達(dá)到精確控制。

原理

利用膜將氨水注入到超純水中

 

規(guī)格型號(hào)		AMII-10P	AMII-20P
性能	流量	300～600 L/h	600～1200 L/h
	控制范圍	0.1～1MΩ?cm
配管口徑	超純水	Rc 1/2	Rc 3/4
	排氣	25A PVC接頭
尺寸		520W x 400D x 1150H mm
重量		65kg
其它標(biāo)準(zhǔn)	氨水	電子級(jí)
	氮?dú)?/td>	0.3～0.5MPa x 50NL/min
	電源	AC100V(50/60Hz)
涂裝色		Munsell 2.5Y8 / 2
可選項(xiàng)		1.氨水蓄液罐0～15L) 2.氨水殘量監(jiān)視器(附帶報(bào)警器)

可選備品

數(shù)據(jù)保存系統(tǒng)

可以將水阻值，溫度，流量數(shù)據(jù)導(dǎo)入電腦，圖表表示。

這些數(shù)據(jù)可以提高清洗管理水平，及良品率。

對(duì)應(yīng)OS		Windows2000、XP、VISTA
使用環(huán)境	CPU	Pentium 150MHz以上
	HDD容量	10MB以上
	內(nèi)存	32MB以上
圖表	畫(huà)面種類	1.即時(shí)表示　2.保存數(shù)據(jù)再表示
	表示項(xiàng)目	縱軸：水阻測(cè)定值(2點(diǎn))、水溫測(cè)定值1點(diǎn))、流量演算值(1點(diǎn)) 橫軸：時(shí)間(年月日時(shí)分秒)
	警告表示	水阻值上下限警告，二氧化碳?xì)埩可?/td>
數(shù)據(jù)保存	樣本周期	1～60sec (1sec刻度)
	保管形式	csv形式、1小時(shí)一回?cái)?shù)據(jù)保存
	最長(zhǎng)時(shí)間	最長(zhǎng)1個(gè)月
使用數(shù)據(jù)線		RS-232C(d-sub pin)、RS-485

 

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