CMP研磨墊
超純水加熱設備
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主要用途?
1. 清洗硅晶片。 2. 清洗液晶玻璃基板。 3. 可代替其他用氟利昂清洗的溫純水清洗。
?加熱單元用的高純度石英組件,內(nèi)置鹵素燈,外面包裹斷熱材料
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基本參數(shù)?
■型號
PWH-24N
PWH-48i
PWH-72i
PWH-96i
PWH-144i
■加熱方式
采用近紅外線光的輻射加熱方式
性能
■加熱器電功率
24kW
48kW
72kW
96kW
144kW
■標準流量 (升溫至55℃時)
6L/min
12L/min
18L/min
24L/min
36L/min
■最小加熱流量
2L/min
5L/min
■設定溫度范圍
25~85℃
■溫度控制精度
±1℃ ※1
構成
■流量顯示范圍
0~10L/min
0~50L/min(不是可保證控制精度的范圍)
■加熱器
鹵燈,不接觸液體的間接加熱方式
■加熱部容器材質(zhì)
高純度透明石英
■接觸液體的設備及配管材質(zhì)
氟樹脂
■安全對應功能
流量異常、過高溫、干燒、漏夜、傳感器斷線、鹵燈斷線等、 檢測出異常時停止輸出信號,顯示報警,并在接點輸出報警信號
■外部通信功能
RS-232C/RS-485(可選)但不能同時選擇 ※2
■外部輸入輸出功能
8-輸入/14-輸出信號(根據(jù)產(chǎn)品式樣也會有不同的情況)
其他
■外形尺寸(mm) ※3
W340×D850 ×H1384
W340×D850 ×H1384
W340×D850 ×H1584
W340×D850 ×H1986
W1050×D700 ×H2004
■重量
約90kg
約130kg
約160kg
約210kg
約410kg
■電源(50/60Hz) (3相3栓)※4
AC200/208V 共用 69/67A
AC200/208V 共用139/133A
AC200/208V 共用 208/200A
AC200/208V 共用 277/266A
AC200/208V 共用 416/400A
※1:據(jù)條件而異?! 玻嚎闪硗庥懻??! 常翰话ㄍ黄鸩糠帧!?:電壓可要求廠家變更或安裝變壓器
KEYWORDS:半導體用超純水加熱設備,PURE WATER HEATER, KELK, 超純水加熱器